「工業純水系統」是一套為了生產特定等級純水（如 DI 水或超純水 UPW）而設計的連續製程架構。
與家用系統不同，工業系統強調的是出水穩定性、水質即時監測以及自動化連續運作。

以下是工業純水系統的核心組成與規劃重點：

1. 典型的系統流程（系統架構）

工業系統通常採取「分段處理」，每一段都是為了保護下一段更昂貴的濾材：

• 預處理段 (Pre-treatment)：
  • 多媒體過濾器 (MMF)：去除懸浮固體與泥沙。
  • 活性碳過濾器 (ACF)：去除餘氯（避免氧化 RO 膜）與有機物。
  • 軟化器 (Softener)：利用軟水樹脂去除鈣鎂，防止 RO 膜結垢。
• 初級純化段 (Primary)：
  • RO 逆滲透系統：通常採用一、二段串聯（Double Pass），去除 98% 以上的離子。
• 深度精製段 (Polishing)：
  • EDI (電去離子系統)：不需酸鹼再生即可連續產出 10-16 MΩ·cm 的純水，是現代工業主流。
  • MB (混合床樹脂)：用於要求極高的 18.2 MΩ·cm 超純水末端。
  • UV-TOC 紫外燈：分解水中微量有機碳。
  • 脫氣膜 (Degasifier)：去除水中溶解的氧與二氧化碳。

2. 系統規劃的三大指標

• 產水量 (Capacity)：以 m³/hr (噸/小時) 為單位，需考慮尖峰用水量與儲水槽大小。
• 水質標準 (Water Quality)：
  • 電子業/半導體：要求 18.2 MΩ·cm (Type I)，且對 TOC 與矽含量有極高要求。
  • 鍋爐/冷卻水：主要要求低導電率與低硬度。
  • 生技製藥：除離子外，還需符合熱原 (Endotoxin) 檢測規範。
• 回收率 (Recovery Rate)：工業用水量大，如何透過「廢水回收系統」將 RO 廢水重複利用是降低成本的關鍵。

3. 工業系統與家用系統的差異

4. 維護重點

• 化學清洗 (CIP)：當 RO 膜進出口壓差變大時，需進行酸鹼清洗以恢復膜效能。
• 樹脂再生/更換：若未採用 EDI，則混合床樹脂飽和後需更換或委外再生。
• 微生物控制：工業純水通常不含氯，管路容易長生物薄膜，需定期進行臭氧或熱水消毒。